第290章 高卢国际工业展览会上的尴尬

高卢,国际工业展览会。

展厅很大,典雅豪华,就像是雄伟的宫殿一样。

在这展厅之中,一台来自东方的光刻机,吸引了所有人的目光。

“各位,这是我们东方华清大学研制的自动对准分步投影式光刻机,使用它可以实现最细0.8微米的线宽加工……”

展台前面,一名五十来岁的老干部,满脸骄傲地给一众西方人介绍。这可是国际工业的盛会,东方还是第一次参加,能拿得出手的东西可不多,但是,这光刻机绝对是其中之一!

现在,把这个展示出来,可以展示东方工业的风采,这可是个向全世界介绍东方的好机会,绝对不能有闪失!

“请问,这个自动对准是什么意思?”很快,一名西方专家就闻声而来,开口询问。

“这个是指光刻机能够自动调整硅片和掩膜版之间的对焦,这样可以保证图案能够精确复刻到硅片上。”老干部信心十足地介绍,这些都是提前背过的,难不倒他!

“请问,这是怎么自动调整的?”

“这个嘛……”老干部一时间语塞了。

这个没背过!

“它使用的是电机调整,还是液压调整?”

“对焦的原理是什么,它怎么知道已经对焦成功的?”

一问三不知!

老干部赶紧看向身后的几名一起出国的人员,他们纷纷低头,他们也不知道啊!

设备是华清大学搞的,出国名额有限,所以就没有分配给这些设备的研发人员,现在是一问三不知啊!显然,那些外国人已经怀疑了:你们该不会是吹牛吧?

“请问,这个分步投影……”

这个背过!老干部开口:“这是分布曝光的方式,每次只曝光一个小区域,然后移动硅片到下一个区域继续曝光,直至整个晶圆上的电路图案全部复刻上去,这样做的好处是可以让光刻机处理大尺寸晶圆,四英寸,六英寸,甚至八英寸的都可以……”

“那每次曝光的区域是多大?”

“曝光之后的移动,如何保证边缘部分的重合?”

“如果一次不够,是否可以多次曝光?”

一个个专业问题提出来,老干部又不会了,他的额头上,汗水嗖嗖地向外冒。