“也只有你才知道国外是怎么搞的,我们从来都是自己搞自己的,不也很好吗?只要我们达到了目的就够了。”
这时王波也插话说道,他对国外是怎么搞的是真不懂,他的话没有半句水份。
“洪所长这个主意很好,这样电子图形缩小就没问题了。”卢汝成对洪涛的办法不由拍案叫绝。
“这样我们是不是可以取消掩模板呢?”
郭东提出了一个大胆的设想。
“当然不行,液不能代替掩模板,因为液晶屏是通过光的偏振原理,来实现图像显示的。它根本就不可能实现,高精度光刻,不过我们可以试一试,让液晶屏代替光刻机,给掩模板显影电子图形,如果能够做到,也是一种了不得的进步,能节省很多步骤。
不过我们必须研究出一种,对光非常敏感的光刻胶。在化学蚀刻的时候,又能有效的保护未被光照的镀铬层。”
“王所长,这点你们能解决吧!”洪涛先给郭东解释了液晶原理,然后又问王波道。
“没问题。自从研究光刻胶以来,我们已经研究出多种光刻胶了。都是分别针对不同的物质,给掩模板用的光刻胶,我们已经研究出来了。效果怎么样?要试试才知道。”王波给予了肯定的回答。
“那太好了,那我们就试试吧!”郭东激动的说道
由于这次用途的特殊原因,他们不需要复杂的液晶技术,只需要第一代液晶技术,即tnlcd。就是简单的黑白屏,白光就是电路图,如果掩模板与液晶屏隔得足够近的说,也可以留下满意的电路图形。
还有一点与普通的液晶屏不同,这里的背景光源是强光源,他不是给人看的,而是专为掩模板曝光的。
当然缺点也很明显,由于液晶分子的大小原因,精度不够,因此不适合纳米级芯片技术,这是他们后来经过实验,才明白这个道理的。
未完待续……